특허보유현황
미세 패턴의 결함 검사 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100048714
출원일
2010-05-25
공개번호
1020110129206
공개일
2011-12-01
등록번호
1011902050000
등록일
2012-10-05
IPC 분류
G01N 21/956|G01B 11/30|G01N 21/958|G01N 21/88
대표도면
요약
본 발명은 미세 패턴의 결함을 검사하기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 지지판; 상기 지지판에 의해 지지되는 지그에 장착되고, 피검사체에 형성된 미세 패턴의 일부 영역인 검사 영역에 빛을 조사하는 광원; 및 상기 지지판에 장착된 카메라;를 포함하되, 상기 광원과, 피검사체와, 카메라의 상대적 위치관계는 상기 검사 영역에 있는 결함으로 인해 산란된 빛만이 상기 카메라로 유입될 수 있도록 설정되고, 상기 카메라의 초점은 상기 검사 영역보다 가까운 곳 또는 먼 곳에 맞춰진 것을 특징으로 하는 미세 패턴의 결함 검사 장치를 제공한다.
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