특허보유현황
임프린트 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100060041
출원일
2010-06-24
등록번호
1010621280000
등록일
2011-08-29
IPC 분류
B29C 59/04|B29C 59/02|B29C 59/00|G03F 7/00
대표도면
요약
다양한 종류의 스탬프를 이용하여 보다 쉽고 효율적으로 유연기판에 패턴을 전사시키고, 가압, 가열 및 자외선 조사가 하나의 공정에서 효율적으로 이루어지는 임프린트장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트장치는 유연기판을 이동시켜 상기 유연기판을 공급 및 회수시키는 기판제공부, 상기 유연기판을 가압하는 가압부, 상기 유연기판을 사이에 두고 상기 가압부의 맞은편에 위치하여 상기 유연기판을 가열하는 가열부, 그리고 상기 유연기판에 전사될 패턴이 형성되고 상기 가열부상에 고정되게 적어도 하나 구비되는 스탬프를 포함하고 상기 가압부가 상기 고정된 스탬프상에서 상기 유연기판을 가압한 상태로 일정범위 회전 이동한다. 이와 같은 구성에 의하면 단단한 평면의 형상을 가지고 있는 스탬프를 가열부 또는 자외선 조사부의 상부에 고정하여 그 위를 롤러로 이동하면서 가압이 이루어지는 바 다양한 형태의 패턴을 유연기판에 전사시킬 수 있다.
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