특허보유현황
나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100060249
출원일
2010-06-24
공개번호
1020110140059
공개일
2011-12-30
등록번호
1012086610000
등록일
2012-11-29
IPC 분류
B29C 33/42|B29C 33/38|B29C 59/02
대표도면
요약
본 발명은 상대적으로 저렴한 비용으로 정밀한 나노 복제품을 제조할 수 있는 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법을 제공한다. 나노 임프린트용 스탬프의 제조 방법은 베이스 기판의 일면에 나노미터 스케일의 미세 패턴을 형성하는 단계와, 미세 패턴 위에 자외선 경화형 수지를 도포하고, 스탬프 기판으로 자외선 경화형 수지를 눌러 베이스 기판 위에 스탬프 기판을 적층하는 단계와, 자외선 경화형 수지를 경화시켜 스탬프 기판의 일면에 미세 패턴과 반대 형상을 지닌 수지 몰드층을 형성하는 단계와, 베이스 기판으로부터 수지 몰드층이 고정된 스탬프 기판을 분리시키는 단계를 포함한다.
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