특허보유현황
프로브 카드 및 이의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100087598
출원일
2010-09-07
공개번호
1020120025302
공개일
2012-03-15
등록번호
1011365340000
등록일
2012-04-06
IPC 분류
H10P 74/00|G01R 1/073
대표도면
요약
프로브 카드는 패드 영역과 접촉 프로브 영역을 포함하는 복수의 단위 플레이트와, 패드 영역에 형성된 복수의 전극 패드와, 접촉 프로브 영역에 형성된 복수의 접촉 프로브와, 전극 패드와 접촉 프로브를 전기적으로 연결하는 복수의 배선층을 포함한다. 복수의 단위 플레이트는 서로 다른 크기로 형성되고, 각 단위 플레이트의 패드 영역을 모두 노출시키도록 정렬 및 적층된다.
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