특허보유현황
압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치 및 그 구동방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100108948
출원일
2010-11-04
등록번호
1010668460000
등록일
2011-09-16
IPC 분류
B23Q 5/28|B23Q 1/34|B23Q 16/00|G02B 26/10|H04N 1/047|G05D 3/00|G12B 5/00|H02N 2/02
대표도면
요약
본 발명의 실시예에 따른 압전구동식 초정밀 스캐너 구동장치는, 초정밀 부품이 장착되며 좌우 선형이동 가능한 출력플레이트; 출력플레이트에 일측 방향으로의 인력을 인가하는 제1변위구동부; 출력플레이트의 타측 방향으로의 인력을 인가하는 제2변위구동부; 출력플레이트를 기준위치에 설정하는 기준지령전압과 출력플레이트를 좌측 또는 우측으로 이동시키는 구동지령전압을 생성하는 전압 지령부; 및 기준지령전압에 구동지령전압을 선택적으로 가산 또는 감산하고 증폭하여 제1 및 제2변위구동부에 전달하는 전압조절부;를 포함한다.
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