특허보유현황
습식공정을 이용한 알루미늄 전극의 제조방법 및 이에 의하여 제조되는 알루미늄 전극
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100112091
출원일
2010-11-11
등록번호
1010212800000
등록일
2011-03-03
IPC 분류
C23C 18/31|C23C 18/50|C23C 28/00
대표도면
요약
본 발명은 습식공정을 이용한 알루미늄 전극의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 알루미늄 전극을 제공한다. 상기 제조방법들은 알루미늄이 형성되기 전 단계인 AlH 3 을 주소재로 하는 습식공정용 알루미늄 전구용액을 제조하고, 상기 알루미늄 전구용액을 습식공정을 통하여 기판에 코팅 후 건조하고 150 ℃ 이하의 저온 소성 공정을 통하여 저 일함수 알루미늄 전극을 형성한다. 본 발명에 따른 알루미늄 전극의 형성방법은 종래 기술의 고온 소성으로 인한 전극의 열적결함 문제를 해결하고, 과량의 원료 손실 방지, 상압 분위기에서 비교적 낮은 비용과 간단한 공정으로 소면적에서 대면적까지 다양한 크기의 알루미늄 전극을 제조할 수 있다.
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