특허보유현황
나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020100133924
출원일
2010-12-23
등록번호
1010634090000
등록일
2011-09-01
IPC 분류
B29C 33/42|B29C 59/02|B29C 33/38
대표도면
요약
본 발명은 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 스탬프 표면에 그래핀 박막층을 형성시켜 레진과의 이형 특성이 향상된 나노 임프린트용 스탬프를 제작하는 나노 임프린트용 스탬프 및 이 나노 임프린트용 스탬프의 제조 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따르면, 그래핀 박막층을 사용함으로써 이형 특성이 우수하고 저렴한 비용의 나노임프린트 리소그래피용 스탬프 제조가 가능하다. 또한, 본 발명의 다른 효과로서는 소정 두께의 그래핀 박막층을 스탬프 표면에 코팅함으로써 패터닝 공정 및/또는 2회 증착 공정이 필요하지 않다는 점을 들 수 있다.
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