특허보유현황
사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110003659
출원일
2011-01-13
공개번호
1020120082266
공개일
2012-07-23
등록번호
1012841130000
등록일
2013-07-03
IPC 분류
B29C 33/42|B29C 33/38|B29C 59/02|G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 복수 개의 유닛 스탬프를 사이드 본딩하여 대면적 나노템플레이트를 제작함으로써 특히 디스플레이용 기판에 나노임프린트 기술을 적용함에 있어서 공정의 양산성을 향상시킬 수 있도록 하는 사이드 본딩에 의한 대면적 나노템플레이트 제작 방법에 관한 것으로, 패턴면에 대향하는 면에서 다이싱되는 복수 개의 유닛 스탬프를 제작하는 준비단계; 상기 복수 개의 유닛 스탬프를 패턴면이 하방을 향하도록 기판상에 배치하고 옆면이 맞닿게 정렬하는 정렬단계; 상기 패턴면을 진공펌핑하여 기판의 판면에 형성되는 다수의 관통공을 통하여 유닛 스탬프가 기판에 흡착되도록 하는 흡착단계; 상기 유닛 스탬프들 사이의 홈에 본딩용 레진을 주입하고 경화시켜 유닛 스탬프를 접합하는 본딩단계; 사이드 본딩된 스탬프에 대해 폴리머 복제하여 대면적 템플레이트를 완성하는 복제단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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