특허보유현황
멀티 스탬프를 이용한 대면적 나노템플레이트 제작 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110005152
출원일
2011-01-18
공개번호
1020120083808
공개일
2012-07-26
등록번호
1012699170000
등록일
2013-05-27
IPC 분류
B29C 33/38|B29C 33/42|B29C 59/02|G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 하나의 마스터 스탬프를 이용하여 제작한 복수 개의 플렉시블 몰드를 이용하여 대면적 나노템플레이트를 제작함으로서 특히 디스플레이용 기판에 나노임프린트 기술을 적용함에 있어서 공정의 양산성을 향상시킬 수 있도록 하는 멀티 스탬프를 이용한 대면적 나노템플레이트 제작 방법에 관한 것으로, 하나의 마스터 스탬프를 사용하여 복수 개의 플렉시블 몰드를 제작하는 준비단계; 대면적 기판상에 써멀레지스트(thermal resist)를 코팅하는 코팅단계; 코팅된 상기 기판 위에 복수 개의 상기 플렉시블 몰드를 패턴면을 하단으로 하여 이웃하는 몰드를 서로 겹치게 배열하는 정렬단계; 정렬된 상기 기판과 상기 플렉시블 몰드를 고온, 고압으로 가열하여 패턴을 전사하는 임프린트단계; 임프린트된 면에 대해 폴리머 복제하여 대면적 나노템플레이트를 완성하는 복제단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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