특허보유현황
몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110005516
출원일
2011-01-19
공개번호
1020120084148
공개일
2012-07-27
등록번호
1011778780000
등록일
2012-08-22
IPC 분류
H10P 74/00|G01R 1/067|G01R 3/00
대표도면
요약
본 발명은 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 형성되고, 형성하고자 하는 프로브 핀의 형상에 대응하는 트렌치; 상기 트렌치의 표면 상부에 형성된 산화막; 및 상기 산화막의 상부에 형성된 자기 조립 단분자 패턴을 포함하는 몰드용 기판 및 이를 이용한 프로브 핀의 제조방법에 관한 것으로, 프로브 핀의 제작을 위한 몰드 형성과정을 간소화하고 프로브 핀 제조공정에서 몰드를 계속적으로 재활용할 수 있는 효과가 있다.
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