특허보유현황
나노 딤플 패턴의 형성방법 및 나노 구조물
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110013045
출원일
2011-02-15
공개번호
1020120093470
공개일
2012-08-23
등록번호
1012932050000
등록일
2013-07-30
IPC 분류
C03C 15/00|C03C 17/00|C03C 17/32|B44C 1/22|B82Y 30/00
대표도면
요약
마스크층을 식각 보호층으로 이용하는 나노 딤플 패턴의 형성방법 및 이로부터 제조된 나노 구조물이 제공된다. 일 실시예에 따르면, 기판 상에 폴리머 입자들을 갖는 마스크층을 형성한다. 상기 마스크층은 상기 폴리머 입자들 사이로 상기 기판을 노출하는 개구를 갖는다. 상기 마스크층을 식각 보호층으로 이용하여 상기 개구로부터 노출된 상기 기판의 표면을 선택적으로 식각하여, 상기 기판 상에 나노 딤플 패턴을 형성한다.
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