특허보유현황
기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110013778
출원일
2011-02-16
등록번호
1011104200000
등록일
2012-01-19
IPC 분류
H10P 72/50|H10P 76/00
대표도면
요약
기판과 스탬프를 정밀하게 정렬시키고, 정렬된 기판과 스탬프의 위치를 유지시킬 수 있는 기판 정렬 모듈과 이를 구비하는 리소그래피 장치가 개시된다. 기판과 스탬프를 정렬시키고 정렬된 기판 및 스탬프의 위치를 유지할 수 있는 기판 정렬 모듈은, 기판이 장착되는 기판 척, 상기 기판 척이 장착되는 기판 홀더, 상기 기판 상부에 구비되어 스탬프가 장착되는 스탬프 척, 상기 스탬프 척이 장착되는 스탬프 홀더, 상기 스탬프 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제1 정렬하기 위한 스테이지부 및 상기 기판 홀더에 연결되어 상기 기판과 상기 스탬프를 제2 정렬하기 위한 압전소자를 포함하여 구성된다.
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