특허보유현황
히트 파이프를 이용한 마이크로 가공기용 항온 챔버
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110038170
출원일
2011-04-25
공개번호
1020120121422
공개일
2012-11-06
등록번호
1013210500000
등록일
2013-10-16
IPC 분류
B23Q 11/14|F28D 15/02|F25B 29/00
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 가공기가 수용되는 챔버 본체와, 상기 챔버 본체의 외벽에 설치되는 복수의 히트 싱크, 및 상기 각 히트 싱크에 설치되며 설정 온도에서 상기 히트 싱크의 열을 흡수하도록 작동하는 히트 파이프 유닛을 포함하고, 상기 히트 파이프 유닛은, 상기 히트 싱크의 외면에 설치되며 상기 설정 온도에서 액상의 작동 유체가 증발되는 증발관부와, 상기 증발관부의 출구와 입구에 연결되며 상기 증발관부에서 증발된 작동 유체가 투입되는 응축관부, 및 상기 응축관부에 설치되며 상기 작동 유체가 액상으로 상변화하여 상기 증발관부로 투입되도록 상기 작동유체를 응축시키는 컨덴서를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 가공기용 항온 챔버에 관한 것으로서, 최대한 간단한 구조로서 구현됨과 아울러 효율적인 운용이 가능한 마이크로 가공기용 항온 챔버를 제공한다.
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