특허보유현황
포화 액체를 이용한 마이크로 가공기용 항온 챔버 및 그 온도 유지 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110038171
출원일
2011-04-25
공개번호
1020120121423
공개일
2012-11-06
등록번호
1012628600000
등록일
2013-05-03
IPC 분류
B23Q 11/12|B23Q 11/14|F25B 29/00
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 가공기가 수용되는 챔버 본체와, 상기 챔버 본체 내로 냉각액을 이송하기 위한 냉각액 이송관과, 상기 냉각액 이송관에 설치되며 상기 냉각액 이송관의 냉각액을 상기 챔버 본체 내의 목표 온도에서 포화 액체 상태로 변화시키는 포화 액체 형성부, 및 상기 냉각액 이송관의 출구와 연결되도록 상기 챔버 본체의 내부에 설치되며 포화 액체 상태의 냉각액을 상기 챔버 본체 내부로 분사하기 위한 분사 기구를 포함하는 마이크로 가공기용 항온 챔버 및 그 온도 유지 방법에 관한 것으로서, 포화 액체 상태의 냉각액이 증발될 때 흡수하는 증발 잠열을 이용하여 항온 챔버의 냉각을 수행함으로써 온도 제어를 위한 복잡한 구성이 필요없는 이점을 제공한다.
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