특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110041691
출원일
2011-05-02
공개번호
1020120123991
공개일
2012-11-12
등록번호
1012224780000
등록일
2013-01-09
IPC 분류
C04B 35/565|C04B 38/10|C04B 41/91
대표도면
요약
본 발명에 의한 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재는, 탄화규소입자(SiC)와 금속규소(Si)입자와, 2.0 중량% 이하의 카본(C)과, 1.0 내지 5.0 중량%의 보론(B)을 포함하여 구성되고 미세기공이 형성됨을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재의 제조방법은, 14 내지 30 중량%의 금속규소(Si)입자와, 2.0 중량% 이하의 카본(C)과, 1.0 내지 5.0 중량%의 보론(B)과 잔부(殘部)인 탄화규소입자(SiC) 및 가소제를 준비하는 재료준비단계와, 상기 재료를 혼합하는 재료혼합단계와, 상기 재료를 성형하여 성형체를 형성하는 재료성형단계와. 상기 성형체를 소결하여 미세기공을 구비하는 진공척용 고통기성 다공성 세라믹 소재를 완성하는 소결단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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