특허보유현황
MEMS 마이크로폰 및 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110044380
출원일
2011-05-12
등록번호
1011186270000
등록일
2012-02-14
IPC 분류
H04R 19/00|H04R 19/04|H04R 31/00|H10D 48/50
대표도면
요약
MEMS 마이크로폰 및 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 마이크로폰 제조방법은 양면에 산화막 및 제 1 질화막이 순차적으로 증착된 제 1 실리콘 기판 일면에 형성된 상기 제 1 질화막 상부에 제 1 전극 및 제 1 젖음층을 형성하는 단계; 상기 제 1 젖음층 상부에 제 1 솔더부를 형성하는 단계; 및 상기 제 1 실리콘 기판 타면을 식각하는 단계를 포함하여 멤브레인부를 제조하는 제 1 단계; 상기 제 1 단계와 병행하여, 양면에 제 2 질화막이 증착된 제 2 실리콘 기판 일면을 식각하여 백플레이트를 형성하는 단계; 상기 제 2 실리콘 기판 타면을 식각하여 솔더 안착부를 형성하는 단계; 상기 제 2 실리콘 기판 양면의 상기 식각된 영역에 열산화막을 형성하고, 상기 솔더 안착부 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 젖음층 상부에 제 2 솔더부를 형성하고, 상기 백플레이트에 음향홀을 형성하는 단계를 포함하여 백플레이트부를 제조하는 제 2 단계; 및 상기 제 1 솔더부 및 상기 제 2 솔더부를 접합하여 상기 멤브레인부 및 상기 백플레이트부를 연결하는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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