특허보유현황
진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110044833
출원일
2011-05-12
공개번호
1020120126787
공개일
2012-11-21
등록번호
1012734620000
등록일
2013-06-04
IPC 분류
B23K 26/70|B23K 26/06|G02B 26/08|B23K 26/08|B23K 26/03|B23K 26/073|G02B 26/10
대표도면
요약
본 발명의 목적은 부가 공정 없이 단시간 내에 고종횡비를 가지는 형상이나 종래 레이저 가공에서보다 더욱 미세한 형상을 높은 정밀도로 가공할 수 있는, 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 진동자를 이용한 하이브리드 레이저 가공 장치는, 레이저 가공을 수행하는 레이저 가공 장치(100)에 있어서, 극초단 펄스 레이저 빔을 발생시키는 레이저 광원(110); 상기 레이저 광원(110)에서 발생된 빔을 분광하여 상기 가공 대상물(500) 측으로 보내는 빔 스플리터(beam splitter, 120); 상기 빔 스플리터(120)에서 보내진 빔을 상기 가공 대상물(500)의 가공 부위로 집광하는 대물 렌즈(130); 상기 가공 대상물(500)이 그 위에 놓여지며, 제어부(150)에 의하여 x, y, z 3축 방향으로 이동 가능하도록 형성되는 스테이지(140); 상기 대물 렌즈(130)에 연결 구비되며, 상기 제어부(150)에 의하여 제어되어 상기 대물 렌즈(130)에 진동을 가하는 진동자(160); 를 포함하여 이루어지며, 상기 레이저 광원(110)은 펄스폭이 펨토초 이하의 레이저를 발생시키도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
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