특허보유현황
5 자유도 운동 오차 보정 기능을 갖는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110052297
출원일
2011-05-31
공개번호
1020120133579
공개일
2012-12-11
등록번호
1013182110000
등록일
2013-10-08
IPC 분류
B23Q 5/28|B23Q 1/25|H10P 72/50
대표도면
요약
본 발명은 서로 직교하는 제1 및 제2가이드면을 갖는 가이드 지지체와, 상기 제1 및 제2가이드면과 대향하는 제1 및 제2면을 구비하며 상기 제1 및 제2면에 각각 에어 베어링이 구비된 테이블과, 상기 테이블을 x축 방향으로 직선 구동시키는 구동기와, 상기 가이드 지지체와 테이블 사이에 자기 예압을 인가하며 상기 테이블에 발생하는 5 자유도 운동 오차를 보정할 수 있도록 가이드 지지체와 테이블 사이의 자기력을 가변시키는 복수의 자기 액츄에이터를 포함하고, 상기 자기 액츄에이터는 상기 제1면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제1 및 제2액츄에이터와, 상기 제2면에 x축 방향으로 이격되게 설치된 제3 및 제4액츄에이터, 및 상기 제2면에 상기 제3 및 제4액츄에이터로부터 z축 방향으로 이격되게 설치된 제5액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 보정형 스테이지 및 그 운동 오차 보정 방법을 개시한다.
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