특허보유현황
임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110058574
출원일
2011-06-16
공개번호
1020120139045
공개일
2012-12-27
등록번호
1013341200000
등록일
2013-11-19
IPC 분류
B29C 33/38|B29C 33/42|G03F 7/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 유연하고 얇은 스탬프를 제작하는데 있어, 마스터 템플리트 상측 얇게 도포된 형태로 경화된 스탬프용 레지스트에 서로 다른 직경의 몰드를 설치하고, 그 사이공간에 인서트를 장착한 다음 추가로 스탬프용 레지스트를 공급하여 경화시킴에 따라, 경화된 스탬프용 레지스트의 가장자리에 인서트가 내부에 장착된 플랜지가 형성됨으로써, 상기 플랜지를 통해 마스터 템플리트로부터 경화된 스탬프용 레지스트를 분리하는 것이 용이한 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법에 관한 것이다.
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