특허보유현황
임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110059510
출원일
2011-06-20
등록번호
1010695450000
등록일
2011-09-27
IPC 분류
B29C 33/38|B29C 33/42|G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게 스탬프용 레지스트가 도포되며 마스터 스탬프가 설치되는 복제 용기의 양측 가장자리에 인서트가 설치되며, 도포된 스탬프용 레지스트와 함께 경화된 인서트에 유연스탬프 조작수단이 체결되도록 하고, 상기 유연스탬프 조작수단의 조작에 의해 상기 인서트가 들어 올려짐에 따라 경화된 스탬프용 레지스트가 상기 마스터 스탬프로부터 가장자리에서 중심방향으로 서서히 분리되도록 하는 임프린트 리소그래피용 유연스탬프 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
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