특허보유현황
예압 인가에 따른 미소 변형을 보상 가능한 변위 확대 기구
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110066386
출원일
2011-07-05
등록번호
1012219450000
등록일
2013-01-08
IPC 분류
H02N 2/00|H10N 30/80|H01L 41/053|H01L 41/09|B06B 1/06
대표도면
요약
예압인가에 따른 미소 변형을 보상 가능한 변위확대기구가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 지렛대형 변위확대기구는 압전 엑츄에이터; 상기 압전 엑츄에이터를 지지 및 고정하는 지지부와, 상기 지지부의 일측에 형성되는 기둥부 및 상기 기둥부와 탄성 힌지부로 연결되어 상기 압전 엑츄에이터의 상부에 배치되는 지렛대부를 포함하는 변형 프레임; 상기 지렛대부를 관통하여 체결되고, 상기 압전 엑츄에이터의 상부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제1 예압인가부재; 상기 지지부 하부에 배치되는 체결판을 관통하여 체결되고, 상기 지지부 하부면에 접촉되도록 높이 조절이 가능한 제2 예압인가부재; 및 상기 변형 프레임에 길이방향으로 체결되는 스프링부를 포함한다.
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