특허보유현황
실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 균일농도 기능수 제조장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110076619
출원일
2011-08-01
등록번호
1012224910000
등록일
2013-01-09
IPC 분류
C02F 1/78|C02F 1/00
대표도면
요약
본 발명은 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 오존 기능수 제조장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 요구되는 공정 기능수보다 높은 농도를 가지는 균일농도의 오존 기능수를 제조하고, 상기 오존 기능수에 순수를 사전에 데이터베이스화된 혼합비율로 미세제어하며 혼합하여, 오존 기능수보다 상대적으로 낮은 농도를 가지는 원하는 농도의 다양한 공정 기능수가 균일한 농도로 제조가 가능토록 함과 동시에, 실리콘 웨이퍼의 세정공정설비가 일괄처리방식인 경우에는 오존 기능수를 순수와 자연혼합하여 매 세정공정마다 공급되도록 하고, 세정공정설비가 연속처리방식인 경우에는 오존 기능수를 순수와 강제혼합하여 지연없이 연속적으로 공정 기능수가 공급될 수 있도록 하여, 기존에 비해 원하는 균일농도를 가지는 기능수를 훨씬 빠르게 제조공급할 수 있는 실리콘 웨이퍼의 배치식 및 연속식 세정용 오존 기능수 제조장치 및 방법에 관한 것이다.
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