특허보유현황
롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110078811
출원일
2011-08-08
등록번호
1012271800000
등록일
2013-01-22
IPC 분류
H10P 76/00|H10P 72/30
대표도면
요약
본 발명의 목적은 나노 박막 롤 전사 공정에서, 롤 스탬프와 이송 스테이지를 동기화하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치는, 회전하는 롤 스탬프, 나노 박막이 형성된 평면 기판을 지지하며 상기 나노 박막에 접촉하는 상기 롤 스탬프를 지지하면서 직선 이동하는 이송 스테이지, 상기 롤 스탬프의 토크 및 상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력 중 적어도 하나를 측정하는 센싱부, 및 상기 센싱부의 측정 신호에 따라 상기 롤 스탬프와 상기 이송 스테이지 중 적어도 하나를 동기 제어하는 제어부를 포함한다.
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