특허보유현황
진공 펌프 수명 연장을 위한 원거리 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110087206
출원일
2011-08-30
공개번호
1020130024028
공개일
2013-03-08
등록번호
1012777680000
등록일
2013-06-17
IPC 분류
H10P 72/00|H01J 37/32
대표도면
요약
진공 펌프의 내부에 적층된 분말을 세정하여 진공 펌프의 배기 능력을 향상시키고 진공 펌프의 수명을 연장시킬 수 있는 진공 펌프용 원거리 플라즈마 반응기를 제공한다. 진공 펌프용 원거리 플라즈마 반응기는, 진공 펌프의 내부 공간과 연결된 플라즈마 생성 공간을 형성하며 내부에서 생성된 플라즈마를 진공 펌프의 펌핑 압력을 이용하여 제트의 형태로 진공 펌프에 제공하는 플라즈마 반응관을 포함한다.
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