특허보유현황
픽업 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110092974
출원일
2011-09-15
등록번호
1011932080000
등록일
2012-10-15
IPC 분류
H10P 72/30|H10W 72/00|B65G 49/07
대표도면
요약
본 발명의 목적은 필름 상에 부착 배치되어 있는 미소 물체와 같은 대상물을 픽업함에 있어서 해당 대상물에의 손상을 최소화하면서도 원활하게 픽업할 수 있도록 하는 픽업 장치 및 방법을 제공함에 있다. 본 발명의 픽업 장치는, 접착력을 가진 필름(510) 상에 접착 배치된 대상물(500)을 픽업하는 장치로서, 트랜스퍼 헤드(151) 및 콜렛(152)을 포함하여 이루어지는 픽업 장치(100)에 있어서, 상기 대상물(500)이 접착 배치된 상기 필름(510)이 그 상면에 배치되며, 상기 대상물(500) 위치에 상하 방향으로 연장되는 통공(111)이 형성되고, 상기 통공(111)과 연통되는 적어도 하나 이상의 연통로(112)가 형성되는 몸체부(110); 상기 통공(111)과 이격된 영역을 가지는 형상으로 형성되어 상기 통공(111) 내에 삽입 배치되는 기둥부(120); 를 포함하여 이루어지며, 상기 연통로(112)의 일측이 상기 기둥부(120) 및 상기 통공(111) 간 이격된 영역에 형성되는 공간과 연통되고, 상기 연통로(112)의 타측이 진공 펌프와 연결되어 상기 통공(111) 내부 공간이 진공화되는 것을 특징으로 한다.
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