특허보유현황
비균일 직경을 가지는 오염 물질 제거용 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110103085
출원일
2011-10-10
공개번호
1020130038623
공개일
2013-04-18
등록번호
1012786820000
등록일
2013-06-19
IPC 분류
B01D 53/32|B01J 19/08
대표도면
요약
공정 챔버와 진공 펌프 사이에 위치하며 저압 플라즈마를 생성하여 공정 챔버에서 배출되는 오염 물질을 제거하는 플라즈마 반응기를 제공한다. 플라즈마 반응기는 내부에 플라즈마 생성 공간을 형성하는 적어도 하나의 유전체와, 유전체의 적어도 일단에 연결되는 접지 전극과, 유전체의 외주면에 고정되고 교류 전원부와 연결되어 교류 구동 전압을 인가받는 적어도 하나의 구동 전극을 포함한다. 접지 전극은 플라즈마 반응기의 길이 방향을 따라 비균일 직경을 가진다.
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