특허보유현황
롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110113550
출원일
2011-11-02
등록번호
1011581100000
등록일
2012-06-13
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/16|G03F 1/00|G03F 7/38|B29C 59/04|G03F 7/20
대표도면
요약
본 발명은 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스핀코팅을 이용해 웨이퍼 상에 얇은 레지스트 막을 형성하고, 롤스탬프를 접촉시켜 회전하여 레지스트 중의 일부를 롤스탬프의 패턴면으로 전이시킨 후 롤스탬프를 다시 유연기판에 접촉시켜 회전시키면서 경화시킴으로써, 롤스탬프에 전이된 레지스트를 유연기판에 전사되도록 하는 롤스탬프를 이용한 리버스임프린트 방식의 연속패턴 전사장치 및 방법에 관한 것이다.
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