특허보유현황
프로브 핀 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020110114007
출원일
2011-11-03
공개번호
1020130049013
공개일
2013-05-13
등록번호
1012963520000
등록일
2013-08-07
IPC 분류
H10P 74/00|G01R 3/00|G01R 31/26
대표도면
요약
본 발명은 제1프로브 팁 영역과 제2프로브 팁 영역을 포함하는 프로브 팁 영역 및 프로브 빔 영역을 포함하는 프로브 핀에 있어서, 상기 프로브 핀은, 상기 프로브 팁 영역 및 상기 프로브 빔 영역에 위치하는 제1금속층; 및 상기 제2프로브 팁 영역 및 상기 프로브 빔 영역에 위치하고, 상기 제1금속층 상에 위치하는 제2금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 핀에 관한 것으로, 접합→몰드 제거의 공정을 배제한 간단한 공정에 의해, 프로브 팁과 프로브 빔을 포함하는 프로브 핀을 제조할 수 있는 효과가 있다.
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