특허보유현황
선형 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120003239
출원일
2012-01-11
공개번호
1020130082193
공개일
2013-07-19
등록번호
1013685730000
등록일
2014-02-21
IPC 분류
C23C 14/22|H10P 50/20|C23C 14/54|C23C 14/56
대표도면
요약
이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치가 제공된다. 상기 융복합 표면처리장치는, 연속하여 공급되는 표면처리 대상을 표면 처리하도록 적어도 둘 이상의 공정실을 구비한 공정 용기 및 상기 각 공정실마다 설치되는 이온빔 발생장치를 포함하며, 상기 각 공정실의 이온빔 발생장치는 상기 표면처리 대상을 공정목적에 적합한 이온빔 에너지로 표면 처리한다.
전문보기
기술이전 상담신청