특허보유현황
금속 패터닝 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120021418
출원일
2012-02-29
공개번호
1020130099710
공개일
2013-09-06
등록번호
1014378620000
등록일
2014-08-29
IPC 분류
H01L 43/12|G01N 21/55|G01N 21/65|C23F 1/02
대표도면
요약
본 발명의 금속 패터닝 방법은, 나노 스케일의 금속 패턴을 형성하는 방법으로서, 기판 상에 금속 재료로 된 금속층이 형성되는 금속층 형성 단계; 다수의 고분자 콜로이달 입자의 도포 및 산소 플라즈마 처리를 이용하여, 상기 금속층 표면에 부분적인 산화층이 형성되는 산화층 형성 단계; 금속층 및 산화층의 식각률 차이를 이용하여, 산화층이 형성되지 않고 노출된 금속층 부분이 식각 용액에 의하여 식각 제거되는 식각 단계; 를 포함한다.
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