특허보유현황
초발수 특성을 가진 금속 표면 구조 및 이의 형성 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120027560
출원일
2012-03-19
공개번호
1020130116431
공개일
2013-10-24
등록번호
1013357050000
등록일
2013-11-26
IPC 분류
C23C 26/00|C23C 16/44|C23C 14/22|H10P 72/00
대표도면
요약
본 발명에 의한 초발수 특성을 가진 금속 표면 구조는, 알루미늄을 포함하는 표면처리대상물의 표면에 일체로 형성된 마이크로 크기의 요철과, 상기 요철의 표면에 일체로 형성된 나노 크기의 돌기와, 상기 돌기의 외측에 코팅되어 초발수 특성을 갖도록 하는 코팅층을 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 초발수 특성을 가진 금속 표면 구조의 제조 방법은, 알루미늄을 포함하는 표면처리대상물의 표면에 알루미나 파우더를 샌드블라스팅하여 마이크로 크기의 요철을 형성하는 요철형성단계와, 상기 요철에 아르곤 이온빔을 조사하여 나노 크기의 돌기를 형성하는 돌기를 형성하는 돌기형성단계와, 상기 돌기에 화학기상증착(CVD) 공정을 통해 코팅층을 형성하는 코팅층형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
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