특허보유현황
반사 방지 기판 및 그 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120027726
출원일
2012-03-19
등록번호
1012448790000
등록일
2013-03-12
IPC 분류
G02B 1/115|G02B 1/113|G02B 1/14|G03F 7/42
대표도면
요약
반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 개시된다. 빛의 투과가 가능한 베이스 기판을 준비하는 단계; 건식 에칭 방식을 이용하여 베이스 기판의 표면에 복수의 돌기형 구조체를 형성하는 단계 및 무기물 입자의 증착에 의해 복수의 돌기형 구조체 각각에 빛의 반사를 방지할 수 있는 반사 방지 구조체를 형성하여, 베이스 기판 표면에 반사 방지층을 형성하는 단계를 포함하는 반사 방지 기판 및 그 제조 방법이 제공된다.
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