특허보유현황
전자빔 측정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120043558
출원일
2012-04-26
등록번호
1012113840000
등록일
2012-12-06
IPC 분류
H01J 37/244|H01J 29/50|H01J 37/28|H01J 37/30|H01J 37/10|H01J 37/304
대표도면
요약
본 발명은 컬럼 하우징 내에 전자빔 주사 경로부에 설치되는 지지부와, 지지부에 의해 전자빔 주사 경로부의 외측으로 고정되고 전자빔 주사 경로부를 통과하는 전자빔의 입사에 의해 통전 신호를 출력하는 통전부와, 통전부로부터 출력된 통전 신호를 이용하여 전자빔 집속 렌즈 조립체의 집속 성능을 판단하는 집속 성능 판단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 측정 장치에 관한 것으로서, 전자 렌즈 내부에서 전자빔의 양과 집속 렌즈의 집속 성능을 측정할 수 있다.
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