특허보유현황
인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120062077
출원일
2012-06-11
등록번호
1012063840000
등록일
2012-11-23
IPC 분류
C01B 31/02|B01J 10/00|B01J 4/00|B01J 19/24
대표도면
요약
본 발명은 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부와 밀폐되도록 형성되는 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 형성되어 그래핀 합성에 필요한 가스들을 공급하는 가스공급부 및 가스를 배출하는 가스배출부, 상기 메인 챔버의 양측에 형성되어 메인 챔버 내부로 웨이퍼를 공급하는 공급 챔버 및 웨이퍼가 회수되는 회수 챔버, 및 상기 메인 챔버를 통과하는 웨이퍼들의 하측에 일정거리 이격되게 형성되는 인덕터를 포함하여 이루어지며, 상기 웨이퍼는 상면에 금속 촉매층이 형성되어 상기 인덕터에 의해 급속으로 가열되어 웨이퍼 단위로 그래핀을 빠르고 연속적으로 합성할 수 있는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법에 관한 것이다.
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