특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
타이타늄-니켈 합금박막 및 다중 스퍼터링법을 이용한 타이타늄-니켈 합금박막의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120069517
출원일
2012-06-28
등록번호
1012662530000
등록일
2013-05-15
IPC 분류
C23C 14/34|C23C 14/14|C23C 14/58|H10P 72/00|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 다중 스퍼터링장치 내부에 Ti타겟과 Ni타겟을 이격시켜 배치하고, 서로 상이한 전압을 인가하여 Ti타겟과 Ni타겟을 동시에 스퍼터링함으로써 기재에 타이타늄(Ti)과 니켈(Ni)이 혼합된 상태로 증착되어 형성된 타이타늄-니켈 합금박막에 있어서, 상기 타이타늄-니켈 합금박막은 500℃ 이상의 온도에서 30분 이상의 시간 동안 열처리(Annealing)하여 결정화됨을 특징으로 한다.
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