특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120078581
출원일
2012-07-19
등록번호
1012386280000
등록일
2013-02-23
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은, 나노 임프린트 리소그래피에 사용되는 장치로서, 평판 기판 및 유연 기판 모두에 적용이 가능하며 안정적인 패턴의 교체와 균일한 패턴 전사가 가능하게 하는, 회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치를 제공함에 있다.
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