특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120101058
출원일
2012-09-12
등록번호
1012634860000
등록일
2013-05-06
IPC 분류
B01J 19/00|B01J 4/00
대표도면
요약
본 발명은 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부와 밀폐되게 형성되는 메인 챔버; 상기 챔버의 양측에 구비되어 기판의 양단이 연결되어 권취되며, 상기 기판이 메인 챔버 내부를 통과하도록 형성되는 공급롤 및 회수롤; 상기 메인 챔버에 구비되어 상기 메인 챔버 내부를 통과하는 기판을 유도 가열하는 인덕터; 상기 메인 챔버의 일측에 형성되어 메인 챔버 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부; 및 상기 메인 챔버의 일측에 형성되어 메인 챔버 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부; 를 포함하여 이루어져, 롤투롤 방식으로 기판을 이송하여 밀폐된 메인 챔버 내부를 통과시키면서 인덕터에 의한 유도 가열로 기판을 가열 및 가스를 공급하고 냉각시킴으로써 기판에 그래핀을 연속적으로 합성할 수 있는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것이다.
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