특허보유현황
미세 구조물이 형성된 기판의 F-DLC 코팅 방법 및 이 방법에 의해 형성된 미세 구조물이 형성된 기판
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120108889
출원일
2012-09-28
공개번호
1020140043592
공개일
2014-04-10
등록번호
1015463610000
등록일
2015-08-17
IPC 분류
C23C 26/00|C23C 16/44|C23C 14/00
대표도면
요약
미세 구조물이 형성된 기판을 물리증착(PVD: Physical Vapor Deposition) 또는 화학증착(CVD: Chemical Vapor Deposition)에 의해 DLC(Fluorine-doped diamond-like carbon)로 코팅하는 단계;를 포함하며, 상기 코팅하는 단계는, 미세 구조물이 형성된 상기 기판이 위치된 물리적 또는 화학적 기상증착(PVD 또는 CVD) 시스템에, 플루오르(F) 원소가 포함된 가스와 탄소원 가스가 혼합된 혼합 가스를 주입하고, 이온 건이나 플라즈마로 상기 혼합 가스를 분해시킴으로써, DLC 코팅을 하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물 DLC 코팅 방법이 개시된다.
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