특허보유현황
선형 이온빔 발생장치
출원인
한국기계연구원|포스코홀딩스 주식회사
등록상태
등록
출원번호
1020120115405
출원일
2012-10-17
공개번호
1020140049302
공개일
2014-04-25
등록번호
1014031010000
등록일
2014-05-27
IPC 분류
H01J 37/08|H01J 37/317|H01J 37/34|H01J 37/305
대표도면
요약
이온빔의 방향을 조절할 수 있는 선형 이온빔 발생장치가 개시된다. 상기 선형 이온빔 발생장치는, 제1 음극; 상기 제1 음극을 둘러싸며, 상기 제1 음극과의 사이에 이온빔 인출부를 형성하는 제2 음극; 및 상기 이온빔 인출부 하부에서 상기 제1 및 제2 음극과 적어도 부분적으로 중첩하도록 이격하여 배치된 양극을 포함하며, 상기 제1 및 제2 음극의 대향하는 대향 면은 서로 비대칭 구조를 형성하여 상기 제1 음극을 중심으로 외측 또는 내측으로 경사지게 인출되는 이온빔의 인출 통로를 구성한다.
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