특허보유현황
나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120128768
출원일
2012-11-14
등록번호
1012999190000
등록일
2013-08-20
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게, 정확한 위치에 다층으로 패터닝 되도록 제1스탬프와 제1기판을 일정위치에 정렬하는 다층패터닝 정렬부와, 작은 크기의 제2스탬프를 이용하여 대면적의 제2기판에 반복적으로 패터닝 할 수 있도록 제2기판을 x축 또는 y축 방향으로 이송하는 기판이송스테이지와, 상기 다층패터닝 정렬부 또는 기판이송스테이지에 놓인 제1기판 또는 제2기판에 패턴이 전사되도록 가압 및 경화기능을 포함하는 임프린팅 스테이션을 포함하여 나노임프린트 장치가 형성됨으로써, 하나의 나노임프린트 장치로 대면적 패턴전사와 다층패터닝이 모두 가능하여 다양한 임프린팅 공정에 적용할 수 있는 나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법에 관한 것이다.
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