특허보유현황
이온 빔 소스
출원인
한국기계연구원|포스코홀딩스 주식회사
등록상태
등록
출원번호
1020120145139
출원일
2012-12-13
등록번호
1013827040000
등록일
2014-04-01
IPC 분류
H01J 37/317|H01J 37/08|H01J 27/02
대표도면
요약
이온 빔 소스는 상면에 방전 공간을 가지며, 내부에 상기 방전 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급홀을 갖는 몸체와, 상기 몸체의 상면에 상기 방전 공간을 노출하도록 구비되고, 상기 몸체와의 정렬을 위해 하부면에 몸체의 상면과 대응하는 형태의 체결홈을 갖는 음극 및 상기 방전 공간의 내부에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 상기 음극과의 사이에 고전압을 발생시켜 상기 가스를 이온화하는 양극을 포함할 수 있다. 음극을 몸체에 정확하게 배치할 수 있으므로, 이온 빔 소스가 이온을 균일하게 발생할 수 있다.
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