특허보유현황
선택적 박리 및 전사 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120148852
출원일
2012-12-18
공개번호
1020140079183
공개일
2014-06-26
등록번호
1014874380000
등록일
2015-01-22
IPC 분류
H10B 80/00|H10P 72/30|H10P 72/50
대표도면
요약
본 발명은 선택적 박리 및 전사 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은, 웨이퍼 기판에 존재하는 고성능 소자 중 일부를 선택적으로 박리한 후 이를 모두 유연 기판에 전사하거나, 또는 웨이퍼 기판에 존재하는 고성능 소자 전체를 박리한 후 이를 유연 기판에 선택적으로 일부만 전사하거나, 또는 웨이퍼 기판에 존재하는 고성능 소자 중 일부를 선택적으로 박리한 후 이를 유연 기판에 선택적으로 일부만 전사할 수 있도록 하는, 선택적 박리 및 전사 장치 및 방법을 제공함에 있다.
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