특허보유현황
저온 MRFM의 프로브 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120157759
출원일
2012-12-31
등록번호
1014150530000
등록일
2014-06-27
IPC 분류
G01Q 60/52|G01J 1/44
대표도면
요약
본 발명은, 나노 크기 이하의 영역에서 발현하는 시료의 고유특성을 극저온에서 관찰하는 저온 자기공명 힘 현미경(Magnetic Resonance Force Microscopy: MRFM)의 프로브 장치에 있어서, 측정하고자 하는 시료가 장착되고, 전자기파를 공급해서 시료의 특성을 외팔보로 측정하는 측정부와, 상기 측정부의 상측에 ㎚단위로 구동 제어 가능하게 구비된 상측 구동부와, 상기 측정부의 하측에 ㎚단위로 구동 제어 가능하게 구비된 하측 구동부와, 상기 상측 구동부의 상측에 구비되고, 상기 측정부의 진동을 방지하는 댐핑부와, 상기 댐핑부의 상측에 구비되고, 상기 측정부에서 연결된 전기회로를 제어측정부로 전기적으로 연결시키는 커넥션부와, 상기 측정부의 일측에 구비되고, 상기 측정부의 측정상태를 영상으로 촬영하여 제어측정부로 데이터를 송신하는 영상촬영부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
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