특허보유현황
챔버 내부온도 제어 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120158072
출원일
2012-12-31
등록번호
1013988440000
등록일
2014-05-19
IPC 분류
G05D 23/19
대표도면
요약
초정밀 가공기가 배치된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 신속, 정확하게 조절할 수 있도록 열수지 방식이 적용된 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 초정밀 가공기(M)가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버와, 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인과, 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 온도감지수단과, 온도감지수단으로부터 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 데이터 수집수단에서 수집된 온도 데이터를 이용하여 상기 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 제어하는 제어부와, 챔버 내부로 공기를 공급 순환시키는 송풍기와, 송풍기에 의해 공급되는 공기를 가열하는 가열수단 및, 송풍기에 의해 공급되는 공기를 냉각하는 냉각수단을 포함하는 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.
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