특허보유현황
습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020120158073
출원일
2012-12-31
공개번호
1020140088961
공개일
2014-07-14
등록번호
1014376310000
등록일
2014-08-28
IPC 분류
G05D 23/19|G05D 22/02|G05D 27/02
대표도면
요약
초정밀 가공기가 배치된 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 신속, 정확하게 조절할 수 있도록 열수지 방식이 적용된 챔버 내부온도 제어 장치 및 방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 초정밀 가공기가 내장 배치되며 전체적으로 밀폐 형성되는 챔버와, 챔버 내부로 공기의 공급 및 배출이 이루어지는 공기유동라인과, 챔버의 전 영역을 둘러 배치되는 습도-온도 감지수단과, 습도-온도 감지수단으로부터 습도 및 온도 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 데이터 수집수단에서 수집된 습도 및 온도 데이터를 이용하여 챔버 내부의 습도 또는 온도를 제어하여 챔버 내부의 온도를 설정된 온도로 유지시켜주는 제어부와, 제어부의 지령에 따라 챔버 내부의 온도가 상승할 경우 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 가습하는 가습수단 및, 제어부의 지령에 따라 챔버 내부의 온도가 하강할 경우 챔버 내부의 온도가 설정된 온도에 도달할 때까지 제습하는 제습수단을 포함하는 습도 제어를 이용한 챔버 내부온도 제어 장치를 제공한다.
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