특허보유현황
실리콘 마스크를 이용한 열전 소자 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130009662
출원일
2013-01-29
등록번호
1014086700000
등록일
2014-06-11
IPC 분류
H10N 10/01|H01L 35/32|H01L 35/02
대표도면
요약
본 발명은 실리콘 마스크를 이용한 열전 소자 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 마이크로 열전 소자의 제조 공정을 단순화하고, 고온에서도 N타입, P타입 반도체 층을 형성시키는 것이 가능한 열전 소자 제조 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따르면, 실리콘 마스크를 이용하여 증착하므로 고온에서도 P타입, N타입 반도체층을 고온 증착시켜 열전 소자 제조하는 것이 가능하다.
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