특허보유현황
극초단파 펄스 레이저를 이용한 미세패턴 가공장치 및 미세패턴 가공방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130011728
출원일
2013-02-01
등록번호
1014210910000
등록일
2014-07-14
IPC 분류
B23K 26/359|B23K 26/00|B23K 26/067|B23K 26/064
대표도면
요약
본 발명은 펄스 레이저를 발생시키는 레이저 발생기와, 상기 레이저 발생기에서 나온 레이저 빔을 가공대상에 집광시켜 상기 가공대상의 표면에 규칙적인 배열을 갖는 미세 패턴을 가공하는 집광 유닛과, 상기 레이저 발생기와 집광 유닛 사이의 상기 레이저 빔의 광경로 상에 배치되며 상기 레이저 빔을 멀티 빔으로 분광시키는 패턴 이미지를 출력하는 실리콘 액정표시유닛(LCoS)과, 상기 실리콘 액정표시유닛에 연결되며 상기 실리콘 액정표시 유닛에 상기 패턴 이미지의 제어를 위한 신호를 인가하는 제어유닛을 포함하는 펄스 레이저를 이용한 미세패턴 가공장치 및 미세패턴 가공방법을 개시한다.
전문보기
기술이전 상담신청