특허보유현황
표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130012492
출원일
2013-02-04
등록번호
1014251910000
등록일
2014-07-24
IPC 분류
B01J 19/08|H05H 1/46
대표도면
요약
폴리머, 금속, 또는 유리 기판의 표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기가 제공된다. 유전체 장벽 방전 반응기는 중간 접지 전극과, 중간 접지 전극과 함께 반응기 내부 공간을 형성하는 구동 전극들과, 중간 접지 전극 및 구동 전극들과의 사이에 반응기 외부 공간을 형성하며 피처리 기판을 지지하는 접지 전극을 포함한다. 구동 전극들은 교류 전압을 인가 받으며, 반응기 외부 공간보다 반응기 내부 공간에서 플라즈마 방전이 먼저 개시된다.
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