특허보유현황
미세 패턴 형성 방법 및 그 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130013422
출원일
2013-02-06
등록번호
1013211030000
등록일
2013-10-16
IPC 분류
H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은 기재에 도전성 박막층을 형성하고, 도전성 박막층을 패터닝 하여 미세 패턴을 형성하는 미세 패턴 형성 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 패턴 형성 방법은, 도전성 박막층을 구비한 기재를 준비하는 제1단계, 및 상기 도전성 박막층을 패터닝 하는 제2단계를 포함한다.
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