특허보유현황
압력 센서 및 그 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020130014145
출원일
2013-02-07
공개번호
1020140100852
공개일
2014-08-18
등록번호
1014538570000
등록일
2014-10-16
IPC 분류
H10D 48/50|H01L 51/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서는 기판, 상기 기판 위에 형성되어 있는 트랜지스터, 상기 트랜지스터에 연결되어 있는 압력 센서층, 상기 트랜지스터 및 압력 센서층을 덮고 있는 압력 전달층을 포함하고, 상기 압력 센서층은 복수개의 제1 압력 센서층과 복수개의 제2 압력 센서층이 교대로 형성되어 있을 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력 센서 및 그 제조 방법은 유연성이 없는 실리콘 기판 대신에 유리 기판 또는 폴리머 기판을 사용할 수 있으므로 압력 센서를 곡면에 부착할 수 있고, 내구성을 향상시킬 수 있다.
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